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Fabry-Perot加速計是根據多光束干涉原理與Fabry-Perot干涉儀所設計開發。本文提出ㄧ種可應用於量測高g值加速度的Fabry-Perot加速計,其內部包含了微型懸臂樑結構、感震質量塊與…